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                        橢偏儀的應用領域和特點

                        2020-04-26 [656]
                           橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由于測量精度高,適用于超薄膜,與樣品非接觸,對樣品沒有破壞且不需要真空,使得橢偏儀成為一種吸引力的測量儀器。
                          橢偏儀應用領域:半導體、微電子、MEMS、通訊、數據存儲、光學鍍膜、平板顯示器、科學研究、物理、化學、生物、醫藥。
                          橢偏儀可測材料:半導體、介電材料、有機高分子聚合物、金屬氧化物、金屬鈍化膜、自組裝單分子層、多層膜物質和石墨烯等等。
                          橢偏儀構造:在橢偏儀的測量中使用不同的硬件配置,但每種配置都必須能產生已知偏振態的光束。測量由被測樣品反射后光的偏振態。這要求儀器能夠量化偏振態的變化量ρ。
                          有些儀器測量ρ是通過旋轉確定初始偏振光狀態的偏振。再利用第二個固定位置的偏振片來測得輸出光束的偏振態。另外一些儀器是固定起偏器和檢偏器,而在中間部分調制偏振光的狀態,如利用聲光晶體等,終得到輸出光束的偏振態。這些不同的配置的終結果都是測量作為波長和入射角復函數ρ。
                          在選則合適的橢偏儀的時候,光譜范圍和測量速度也是一個通常需要考慮的重要因素??蛇x的光譜范圍從深紫外的142nm到紅外的33microm。光譜范圍的選擇通常由應用決定。不同的光譜范圍能夠提供關于材料的不同信息,合適的儀器必須和所要測量的光譜范圍匹配。
                          橢偏儀產品特點:
                          1、更簡便快捷的樣品準直方法
                          2、軟件具備豐富的材料數據庫
                          3、連續波長的光源為用戶提供了更大的應用空間
                          4、允許用戶自定義色散模型,更方便用戶研究新材料的光學性質
                          5、全波長多角度同時數據擬合,EMA模型用戶多成分化合物和表面粗糙度分析
                          6、具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能
                          7、光譜范圍寬達250 - 1100nm
                          8、橢偏儀功能強大的光譜橢偏測量與分析軟件
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