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                        首頁 > 產品中心 > > 優尼康往期產品 > Film Sense FS-1FS-1單波長橢偏儀

                        FS-1單波長橢偏儀

                        簡要描述:Film Sense FS-1多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器,可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現快速和可 靠地薄膜測量。大多數厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量,就 可以獲得非常精密和的數據。

                        • 產品型號:Film Sense FS-1
                        • 廠商性質:生產廠家
                        • 更新時間:2023-07-24
                        • 訪  問  量:1115
                        產品詳情

                        Film Sense FS-1多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器,可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現快速和可 靠地薄膜測量。

                        大多數厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量,就 可以獲得非常精密和的數據。還可以測量大多數樣品的光學常 數和其他薄膜特性。

                        Film Sense FS-1多波長橢偏儀 這款功能強大的多波長橢偏儀,售價只是單一波長橢偏儀

                        和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1 可應用于研究實驗室,超凈間,原位工藝腔體以及工業質量控制等諸多領域


                        主要特點

                        ? 4 個 LED 光源:藍色(465nm),綠色(525nm), 黃色(580nm),紅色(635nm)

                        ? 橢偏儀探測器中無可移動部件

                        ? 的膜厚精密性,大多數樣品精密度優于 0.001nm(1 秒獲取數據),對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm

                        ? 集成計算機,可實現對設備控制和數據分析,自帶 瀏覽器界面,可兼容任何現代計算機,筆記本或平 板電腦


                        優勢

                        ? 壽命長(長達 50,000 小時),更換 LED 燈便宜,校準時 間短或無需 PM 程序

                        ? 快速測量(10ms 內獲得多波長數據)和性能穩定

                        ? 測量,只有橢偏儀可以實現

                        ? 軟件設置和維護簡單

                        標準 FS-1 配置

                        ? 65°入射角

                        ? 手動放置樣品和調節高度

                        ? 樣品尺寸大直徑 200mm 和厚度 23mm

                        ? 樣品偏轉范圍+/-20

                        ? 樣品上光束尺寸 5 x 12 mm

                        ? 結構緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)

                        性能

                        FS-1 多波長橢偏儀擅長測量膜厚范圍 0-1000nm 的透明單一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是針對各種不同樣品,包括多 層膜樣品,FS-1 獲得的標準測量精密度和性數據。

                        Filmsense 8.jpg


                        應用領域

                        ? 半導體行業:二氧化硅和氮化物,高介電和低介電 材料,非晶和多晶材料,硅薄膜,光刻膠

                        ? 光學薄膜行業:高和低指數薄膜,如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 等

                        ? 顯示屏行業:TCO(如 ITO),非晶硅薄膜,有機薄 膜(OLED 技術)

                        ? 數據存儲行業:寶石,如碳膜

                        ? 工藝研發:原位表征薄膜沉積(速率和光學常數) VS 工藝條件,可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控濺射 等設備

                        ? 化學和生物:在液體細胞實驗中探測亞單原子層材 料吸附

                        ? 工業:在線監測和控制膜厚


                        In Situ 在線測量功能

                        ? 亞單原子膜厚精密度

                        ? 多工藝條件下測定薄膜光學常數 n&k 和沉積速率,不 會破壞真空

                        ? 監測和控制多層膜結構沉積

                        ? FS-API 界面,外置軟件控制(兼容 LabVIEW )

                        ? 兼容大多數薄膜沉積技術:磁控濺射,ALD,MBE,MOCVD,電子束蒸發等

                        Filmsense 3.jpg

                        In Situ 在線測量

                        Filmsense 4.jpg


                        產品包括 FS-1多波長橢偏儀,帶緊湊自動 mapping 樣品 臺,可以實現快速,和可靠的薄膜均勻性測量。

                        特點和參數

                        ? 4 段波長的橢偏數據(465, 525, 580, 635 nm),壽命長 的 LED 光源,探測器內無可移動部件

                        ? 可對 0-1000nm 透明薄膜進行的厚度測量

                        ? 標準濃厚重復性 0.015 nm

                        ? 集成聚焦探針,標準光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm (其他尺寸 可選)

                        ? 電動 Z 軸樣品臺自動準直

                        ? 靈活掃描圖案編輯器

                        ? 測量參數等值線繪制

                        聚焦光束選件

                        ?樣品上光束尺寸減小到 0.8 x 1.9 mm 或 0.3 x 0.7 mm


                        聚焦光束檢測

                        聚焦光束檢測系統包括一個 FS-1 多波長橢偏儀,帶光束聚焦光學器件和一個手動位移臺。該系統 非常適合用于手動檢測和在圖案化半導體晶圓上 進行質量控制測量。

                        ?可進行科研測量,帶小尺寸光斑和相機成像功能

                        ?手動位移臺,可容納 4’,5’,6’晶圓

                        ?樣品上光束尺寸 0.3 x 0.7 mm

                        ?樣品上光束位置視頻圖像

                        Filmsense 6.jpg



                        FS-XY150

                        ? 標準晶圓 map 時間:60s(150mm 晶圓上取 49 個點)

                        ? 結構緊湊:600x600 mm, 16 kg

                        ? 樣品臺行程(X,Y):150 x 150 mm, 精度:5 μm

                        Filmsense 9.jpg

                        FS-RT300

                        ? 標準晶圓 map 時間:90s(300mm 晶圓上取 49 個點)

                        ? 結構緊湊:400x500 mm, 22 kg

                        ? 樣品臺行程:R (線性) :150 mm, 精度:12 μm

                        ? 角度(旋轉)360°,精度:0.1°

                        Filmsense 10.jpg


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