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                        光學輪廓儀廠家

                        簡要描述:光學輪廓儀廠家
                        支持3D量測和成像功能,并提供整合隔離工作臺和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統,可實現全自動測量。該系統采用ZDot技術,可同時采集高分辨率3D數據和True Color(真彩)無限遠焦點圖像。Zeta-388具備Multi-Mode(多模式)光學系統、簡單易用的軟件、低擁有成本,以及SECS / GEM通信,適用于研發及生產環境。

                        • 產品型號:Zeta-388
                        • 廠商性質:生產廠家
                        • 更新時間:2023-06-05
                        • 訪  問  量:2617
                        產品詳情

                        Zeta-388 白光共聚焦

                        支持3D量測和成像功能,并提供整合隔離工作臺和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統,可實現全自動測量。該系統采用ZDot技術,可同時采集高分辨率3D數據和True Color(真彩)無限遠焦點圖像。Zeta-388具備Multi-Mode(多模式)光學系統、簡單易用的軟件、低擁有成本,以及SECS / GEM通信,適用于研發及生產環境。

                        光學輪廓儀廠家

                        產品描述

                        是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。 Zeta-388繼承了Zeta-300的功能,并增加了晶圓盒至晶圓盒機械臂,可實現全自動測量。該系統采用ZDot技術和Multi-Mode (多模式)光學系統,可以對各種不同的樣品進行測量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理,以及納米至毫米級別的臺階高度。

                        Zeta-388的配置靈活并易于使用,并集合了六種不同的光學量測技術。ZDot測量模式可同時收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠焦距圖像。其他3D測量技術包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射計都可以對薄膜厚度進行測量。Zeta-388也是一款顯微鏡,可用于樣品檢查或自動缺陷檢測。Zeta-388通過提供的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能,以及晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送,適用于研發及生產環境。

                        主要功能

                        ·       采用ZDotMulti-Mode(多模式)光學器件的簡單易用的光學輪廓儀,具有廣泛的應用

                        ·       可用于樣品復檢或缺陷檢測的高質量顯微鏡

                        ·       ZDot:同時采集高分辨率3D數據和True Color(真彩)無限遠焦點圖像

                        ·       ZXI:白光干涉測量技術,適用于z向分辨率高的廣域測量

                        ·       ZIC:干涉對比度,適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數據

                        ·       ZSI:剪切干涉測量技術提供z向高分辨率圖像

                        ·       ZFT:使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率

                        ·       AOI:自動光學檢測,并對樣品上的缺陷進行量化

                        ·       生產能力:通過測序和圖案識別實現全自動測量

                        ·       晶圓傳送機械臂: 自動加載直徑為50mm200mm的不透明(如硅)和透明(如藍寶石)樣品

                        主要應用

                        ·       臺階高度:納米到毫米級別的3D臺階高度

                        ·       紋理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度

                        ·       外形:3D翹曲和形狀

                        ·       應力:2D薄膜應力

                        ·       薄膜厚度:30nm100μm透明薄膜厚度

                        ·       缺陷檢測:捕獲大于1μm的缺陷

                        ·       缺陷復檢:采用KLARF文件作為導航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

                        光學輪廓儀廠家




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