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                        首頁 > 產品中心 > 薄膜厚度測量 > 橢偏儀 > Auto SEHORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀

                        HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀

                        簡要描述:HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀是新型的全自動薄膜測量分析工具。采用工業化設計,操作簡單,可在幾秒鐘內完成全自動測量和分析,并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質量控制理想的解決方案。

                        • 產品型號:Auto SE
                        • 廠商性質:生產廠家
                        • 更新時間:2023-08-22
                        • 訪  問  量:1292
                        產品詳情

                        HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀的主要特點


                        1. 液晶調制技術,無機械轉動部件,重復性,信噪比高


                        2. 技術成像系技術,所有樣品均可成像,對于透明樣品,自動去除樣品的背反射信號,使得數據分析更簡單.


                        3. 反射式微光斑,覆蓋全譜段,利于非均勻樣品圖案化樣品測試


                        4. 全自動集成度高,安裝維護簡便


                        5. 一鍵式操作軟件,快速簡單


                        6. 自動MAPPING掃描,分析樣品鍍膜均勻性




                        HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀的技術參數


                        1. 光譜范圍:450-1000 nm


                        2. 多種微光斑自動選擇


                        3. 光斑可視技術,可觀測任何樣品表面


                        4. 自動樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動調節; Z軸高度>35mm


                        5. 70度角入射


                        6. CCD探測器




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